攀时的新专利涂层材料在溅射靶效率方面突破了界限

随着显示器和薄膜太阳能行业的持续发展，有一种材料在这两个行业的发展中发挥着至关重要的作用，那就是钼。

基于cigs的太阳能电池是太阳能发电领域最有前途的竞争者之一。这些细胞有记录效率值(22%)，作为晶体硅(c-Si-)基太阳能电池的替代品，适用于需要灵活性、重量轻或建筑集成的应用。然而，在大规模制造之前，材料性能和效率是需要考虑的关键特征。钼铝是一种难熔金属，以其耐腐蚀性、高熔点和化学稳定性而闻名，一直是首选材料CIGS太阳能电池的电子背接触材料特别是因为它的CTE低，并且与硒兼容。

同样，在显示行业，钼的存在液晶显示器或OLED屏幕允许即时控制单个像素，保证清晰的图像质量。由薄膜晶体管阵列的四层组成，钼的纯度和附着强度不仅有助于提供清晰的图像，而且还能在屏幕上快速生成图像。虽然在最终产品中可能不常见，但钼层构成了我们日常生活中使用的显示屏，如智能手机、笔记本电脑、平板电脑和电视中的屏幕。

Plansee的领导者。难熔金属目前，该公司已为整体旋转靶的内部涂层申请了专利。

什么是整体旋转目标?攀时的专利涂层材料如何提高这些靶标的功能?所有这些过程有什么好处呢?

CIGS太阳能电池使用钼作为电子背接触材料。

磁控溅射

当你听说旋转靶，或者一般的靶时，他们主要是在溅射的背景下出现的，溅射是一种物理气相沉积(PVD)过程，用于在不需要材料熔化的情况下制造薄膜。特别是磁控溅射是一种沉积技术，通过轰击粒子的动量转移，金属微粒从源材料(通常称为溅射目标)中喷射出来。轰击粒子通常是一个气体离子，被磁场困在目标材料上，因此被称为磁控管溅射。一旦被喷射出去，目标粒子就会在玻璃基板上沉积成薄膜。

旋转目标vs平面目标

溅射目标有不同的形式，最常见的是平面或圆柱形。

平面目标通常用于矩形形状。另一方面，典型的旋转目标呈圆柱形，并显示许多优势特别是在成本、质量和时间方面。

• 成本:与平面目标相比，它们的材料利用率高2-3倍。
• 质量:由于再沉积区的表面积较小，旋转目标的电弧和颗粒产生问题较少。冷却效率更高，允许在高功率密度下运行。
• 时间:运动时间更长，可用材料更多，目标替换更容易和更快，沉积速率显著提高。

由Plansee提供。

整体旋转靶

传统的旋转靶称为粘结靶，因为它们由三个部分组成:靶材、衬底管和中间的粘结层。Plansee已经采取了进一步与他们的整体旋转目标，因为他们不需要一个后盾管。这是由于他们的目标是纯粹的钼。它们可以在显著的高功率密度下运行，因此，具有高镀膜率。单片靶与涂层系统的冷却水直接接触。这种冷却水通常带有定期添加的抑制剂，以保持导电性和pH值稳定。Plansee最新获得专利的聚合物基内部涂层覆盖在目标的内侧，厚度非常低，可以防止水接触钼材料，而不削弱其导热性。因此，抑制剂的添加可以减少到最低限度。

攀时保证钼靶的纯度至少为99.97%。几乎100%的密度，保证了高沉积速率和薄膜的最大导电性。

关于Plansee

攀时是生产和加工难熔金属的领先公司，包括钼、钨、铌、钽和铬。凭借90年的经验和15,000多个产品开发，攀时可以根据客户的要求调整和调整材料的性能。对于上述难熔金属，攀时的材料专家已经开发了约200种特定应用领域的合金和复合材料，并在铝、石墨和陶瓷中添加了新的材料。

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