用于MOCVD的加热元件

金属有机化学气相沉积(MOCVD)是一种外延工艺，用于为led、太阳能电池和其他光电元件制造晶体半导体层。

通过攀时的新型加热元件设计和专利涂层，可以提高MOCVD系统的使用寿命，同时提高工艺效率。

MOCVD系统中的加热元件温度可达2000°C。在这样的高温下，各种气体歧管、屏蔽包和加热元件都离不开钨、钼等高性能材料。

总而言之，攀时为MOCVD提供超过50种不同的组件。攀时不仅是MOCVD系统的原始设备制造商，而且在备件市场也很活跃。

新的设计使均匀的温度分布

LED中的半导体层应该尽可能地发出相同波长的光。在MOCVD系统中均匀的温度分布是至关重要的，因为温度分布的任何差异都会改变发射光的颜色。

Plansee根据工程师进行的复杂有限元计算来优化加热组件的设计，以模拟每个系统中的MOCVD过程。有了新组件，整个反应器的温度分布更加均匀。这样，客户可以从每个涂层循环中获得更高的产量，从而提高生产率。

专利涂料提供节能

加热元件辐射热量的效率越高，需要加热的就越少。因此，攀时开发了一种专利涂层工艺，以最大限度地提高热辐射。由于钨基涂层非常多孔，加热元件的表面积大大增加。

结果也增加了表面的发射率。这为客户带来了几个好处:较低的工作温度降低了功耗，此外，加热元件的使用寿命延长了几个月。这反过来又降低了led的制造成本。